Pat
J-GLOBAL ID:200903042749391685
ステージ装置及び露光装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
立石 篤司 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999198304
Publication number (International publication number):2001023894
Application date: Jul. 13, 1999
Publication date: Jan. 26, 2001
Summary:
【要約】【課題】 ステージの駆動時に固定子に生ずる反力に起因する振動の影響を軽減し、ステージの位置制御性を向上する。【解決手段】 シャフトモータの固定子82A、82Bの長手方向の両端部をベース部材40と独立して支持する支持部材86A〜86Dを備えている。このため、固定子との間の電磁相互作用により可動子80A、80B及びステージWSTが固定子に沿って駆動される際に該固定子に生ずる反力は、支持部材86A〜86Dを介して設置床の床面に伝達され(逃がされ)、その反力がベース部材に直接的に伝わってその振動要因となることがない。従って、ステージWSTの駆動時に固定子に生ずる反力に起因する振動の影響を軽減することができ、ステージの位置制御性を向上することができる。
Claim (excerpt):
所定方向に延びる固定子と;前記固定子との間の電磁相互作用により前記固定子に沿って駆動される可動子に接続されたステージと;前記ステージを移動可能に支持するベース部材と;前記固定子の前記所定方向の両端部を前記ベース部材と独立して支持する支持部材とを備えることを特徴とするステージ装置。
IPC (4):
H01L 21/027
, G03F 7/22
, B23Q 1/25
, H02K 41/03
FI (7):
H01L 21/30 515 G
, G03F 7/22 H
, H02K 41/03 A
, H01L 21/30 515 F
, H01L 21/30 516 B
, H01L 21/30 525 E
, B23Q 1/14 B
F-Term (29):
3C048AA01
, 3C048BC02
, 3C048CC07
, 3C048DD06
, 3C048EE10
, 5F046AA23
, 5F046BA05
, 5F046CC01
, 5F046CC02
, 5F046CC03
, 5F046CC16
, 5F046CC18
, 5F046CC20
, 5F046DA08
, 5F046DB05
, 5F046DC04
, 5F046DC10
, 5H641BB06
, 5H641BB14
, 5H641BB18
, 5H641BB19
, 5H641GG02
, 5H641GG03
, 5H641GG05
, 5H641GG08
, 5H641HH02
, 5H641HH03
, 5H641JA06
, 5H641JA07
Return to Previous Page