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J-GLOBAL ID：200903042758402134

感放射線性樹脂組成物

Inventor：
沼田 淳

About 沼田 淳

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鈴木 亜紀

About 鈴木 亜紀

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原 宏道

About 原 宏道

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夏目 紀浩

About 夏目 紀浩


Applicant, Patent owner：
ジェイエスアール株式会社

About ジェイエスアール株式会社


Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000028456
Publication number (International publication number)：2001215689
Application date： Feb. 04, 2000
Publication date： Aug. 10, 2001
Summary：
【要約】【課題】 感度および解像度に優れ、かつ光近接効果が小さく、孤立ラインパターンおいても微細パターンを高精度にかつ安定して形成することができ、しかも孤立ラインパターンに対して十分なフォーカス余裕度を確保しうる、ポジ型あるいはネガ型の化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 ポジ型感放射線性樹脂組成物は、(A)少なくとも1個の水素原子が窒素原子に結合したアミノ基を有する化合物の該水素原子がt-ブトキシカルボニル基で置換された低分子化合物、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)(イ)酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる酸解離性基含有樹脂または(ロ)アルカリ可溶性樹脂およびアルカリ溶解性制御剤を含有する。また、ネガ型感放射線性樹脂組成物は、前記(A)成分、前記(B)成分、(D)アルカリ可溶性樹脂、並びに(E)架橋剤を含有する。
Claim (excerpt)：
(A)少なくとも1個の水素原子が窒素原子に結合したアミノ基を一つ以上有する化合物の前記窒素原子に結合した水素原子の1個以上がt-ブトキシカルボニル基で置換された低分子化合物、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)(イ)酸解離性基で保護されたアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂または(ロ)アルカリ可溶性樹脂およびアルカリ溶解性制御剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。
IPC (4)：
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/038 601 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027
FI (4)：
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/038 601 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (15)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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