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J-GLOBAL ID：200903042764563433

走査型原子力顕微鏡により化学的に区別化された画像を形成する方法

Inventor： ディーター、ホルン ,  ハーラルト、ケラー ,  ヴォルフガング、シュレプ ,  サブリ、アカリ
Applicant, Patent owner： ビーエーエスエフ アクチェンゲゼルシャフト
Agent (1)： 田代 烝治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996023758
Publication number (International publication number)：1997005338
Application date： Feb. 09, 1996
Publication date： Jan. 10, 1997
Summary：

【要約】【課題】 化学的に変性された探査針を使用して、横方向力モードを使用することなく走査型原子力顕微鏡により、化学的に区別化された画像を形成する方法を提供すること。【解決手段】 画像形成を垂直力モードまたは弾性モードで行なうことを特徴とする、化学的変性探査針を使用し、走査型原子力顕微鏡により、化学的に区別化された画像を形成する方法。

Claim (excerpt)：

画像形成を垂直力モード、弾性モード、タッピングモードまたは非接触モードで行なうことを特徴とする、化学的変性探査針を使用し、走査型原子力顕微鏡により、化学的に区別化された画像を形成する方法。

IPC (4)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G01N 19/00 ,  H01J 37/28

FI (4)：

G01N 37/00 A ,  G01B 21/30 Z ,  G01N 19/00 ,  H01J 37/28 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 走査型プローブ顕微鏡及びそれを用いた分子加工方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-063121   Applicant：松下電器産業株式会社
• 特開平4-330281