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J-GLOBAL ID：200903042765430364

X線発生装置

Inventor： 近藤 洋行 ,  神高 典明
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997021212
Publication number (International publication number)：1998223395
Application date： Feb. 04, 1997
Publication date： Aug. 21, 1998
Summary：

【要約】【課題】 清浄光学面への飛散粒子の付着、堆積を十分に抑制することができるX線発生装置を提供すること。【解決手段】 減圧された真空容器101内の標的部材106に励起エネルギービーム103を照射してプラズマ107を形成させ、該プラズマ107からX線を取り出すX線発生装置において、前記標的部材106は、標的物質がフィルム状またはテープ状に形成されたものであるか、或いはフィルムまたはテープの上に標的物質の薄膜が形成されたものであり、また前記励起エネルギービーム103が照射される前記標的部材表面の裏面側に飛散粒子108を阻止する部材109を設けたことを特徴とするX線発生装置。

Claim (excerpt)：

減圧された真空容器内の標的部材に励起エネルギービームを照射してプラズマを形成させ、該プラズマからX線を取り出すX線発生装置において、前記標的部材は、標的物質が薄膜状またはテープ状に形成されたものであるか、或いは薄膜またはテープの上に標的物質の薄膜が形成されたものであり、また前記励起エネルギービームが照射される前記標的部材表面の裏面側に飛散粒子拡散阻止部材を設けたことを特徴とするX線発生装置。