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J-GLOBAL ID：200903042767330723
規則的パターンを有するウェハの表面検査方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
朝日奈 宗太 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994178915
Publication number (International publication number)：1996045999
Application date： Jul. 29, 1994
Publication date： Feb. 16, 1996
Summary：
【要約】【目的】 規則的なパターンを有するウェハの表面に発生する種々の形状の欠陥を規則的なパターンと確実に識別する規則的なパターンを有するウェハの表面検査方法を提供する。【構成】 規則的なパターンを有するウェハ表面の撮像によりえられる画像データをフーリエ変換によって周波数成分に変換し、該変換された周波数成分から前記規則的パターンの周波数成分をフィルタリングし、該フィルタリングされた周波数成分をフーリエ逆変換することにより規則的パターンを有するウェハ表面の欠陥を検出する。
Claim (excerpt)：
規則的パターンを有するウェハ表面の撮像によりえられる画像データをフーリエ変換によって周波数成分に変換し、該変換された周波数成分から前記規則的パターンの周波数成分をフィルタリングし、該フィルタリングされた周波数成分をフーリエ逆変換することにより規則的パターンを有するウェハ表面の欠陥を検出する規則的パターンを有するウェハの表面検査方法。
IPC (3)：
H01L 21/66
, G01N 21/88
, G06F 17/14
