感放射線性樹脂組成物

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴木俊一郎 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002040301
Publication number (International publication number)：2003241372
Application date： Feb. 18, 2002
Publication date： Aug. 27, 2003
Summary：

【要約】【課題】めっきの高さ以上の感放射線性樹脂組成物塗膜が形成でき、かつ高い解像性を有する感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基を有するラジカル重合性化合物(a)に由来する構成単位を1〜40重量%、フェノール性水酸基を有するラジカル重合性化合物(b-1)または共重合体合成後にフェノール性水酸基に変換できる官能基を有するラジカル重合性化合物(b-2)に由来するフェノール性水酸基を有する構成単位を1〜50重量%含有し、残分が他のラジカル重合性化合物(c)に由来する構成単位である共重合体100重量部に対し、(d)エポキシ基を有するラジカル重合性化合物0.1〜20重量部を反応せしめて得られる不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、および(C)放射線ラジカル重合開始剤を含有する。

Claim (excerpt)：

(A)カルボキシル基を有するラジカル重合性化合物(a)に由来する構成単位を1〜40重量%、フェノール性水酸基を有するラジカル重合性化合物(b-1)または共重合体合成後にフェノール性水酸基に変換できる官能基を有するラジカル重合性化合物(b-2)に由来するフェノール性水酸基を有する構成単位を1〜50重量%含有し、残分が前記化合物(a)、(b-1)、(b-2)および下記化合物(d)以外の他のラジカル重合性化合物(c)に由来する構成単位である共重合体100重量部に対し、(d)エポキシ基を有するラジカル重合性化合物0.1〜20重量部を反応せしめて得られる不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、および(C)放射線ラジカル重合開始剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/027 515 , C08F290/12 , H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/027 515 , C08F290/12 , H01L 21/30 502 R

F-Term (33)：

2H025AA02 , 2H025AA10 , 2H025AA16 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC53 , 2H025BC74 , 2H025BC85 , 2H025BC86 , 2H025CA00 , 2H025FA43 , 4J027AA02 , 4J027BA04 , 4J027BA07 , 4J027BA08 , 4J027BA10 , 4J027BA11 , 4J027BA12 , 4J027BA13 , 4J027BA14 , 4J027BA15 , 4J027BA19 , 4J027BA20 , 4J027BA23 , 4J027BA24 , 4J027BA26 , 4J027BA27 , 4J027BA29 , 4J027CB10 , 4J027CD08 , 4J027CD10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

活性エネルギー線硬化性組成物及びプリント配線板
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-034807 Applicant：タムラ化研株式会社
感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-195051 Applicant：太陽インキ製造株式会社
感放射線性樹脂組成物、バンプ形成用および配線形成用材料ならびにドライフィルムレジスト
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-209235 Applicant：ジェイエスアール株式会社

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