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J-GLOBAL ID：200903042950375930

感光性ポリイミド前駆体組成物、およびそれを用いたパターン形成方法

Inventor： 吉川 治彦 ,  片岡 文雄 ,  竹元 一成 ,  田中 順 ,  磯田 敬子 ,  内村 俊一郎 ,  鍛治 誠 ,  杉浦 実
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立化成工業株式会社
Agent (1)： 富田 和子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997132353
Publication number (International publication number)：1998095848
Application date： May. 22, 1997
Publication date： Apr. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】水溶液により短時間で高解像度に現像できる高感度のネガ型感光材料。【解決手段】塩基性水溶液に可溶であり、露光により硬化して該塩基性水溶液に不溶化する、下記一般式(化1)で表される繰返し単位を10モル%以上含む感光性ポリイミド前駆体を用いる。ただし、式中、R1は4個以上の炭素を含む4価の有機基、R2は芳香族環を含む3価または4価の有機基、R3は1価の有機基、Aは酸性を示す1価の基、nは1または2である。【化1】

Claim (excerpt)：

下記一般式(化1)で表される繰返し単位を有し、重量平均分子量が1万〜20万であることを特徴とするポリイミド前駆体。【化1】(ただし、式中、R1は4個以上の炭素を含む4価の有機基、R2は芳香族環を含む3価または4価の有機基、R3は1価の有機基、Aは酸性を示す1価の基、nは1または2である。)

IPC (8)：

C08G 73/10 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/038 504 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (8)：

C08G 73/10 ,  C08L 79/08 A ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/038 504 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/312 B ,  H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平2-008221
  
• 特開昭64-060630
  
• 特開昭62-100530
  
• 特開昭52-059634
  
• 特公昭47-025476