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J-GLOBAL ID：200903042973502913

ゲッターポンプとその製造方法

Inventor： 田村 雅貴 ,  石渡 裕 ,  伊藤 義康
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 則近 憲佑
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995017570
Publication number (International publication number)：1996210251
Application date： Feb. 06, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：

【要約】【目的】 耐被毒性を向上させて表面への汚染物質の付着を抑制させ、初期活性化や再活性化のための温度を低下させると共に焼結性を向上させ、ゲッター材の結合力を高めたゲッターポンプとその製造方法を提供することにある。【構成】 発明のゲッターポンプは、表面をフッ化物でコーティングした粉末を焼結して形成される多孔質のゲッター材と、ゲッター材を加熱するためのヒーターとを有し、ゲッター材とヒーターとを接合し一体化したことを特徴とする。また、その製造方法は、ゲッター材粉末の表面の酸化物を除去した後、フッ化物を含むアルカリ性溶液に浸せきし、ゲッター材粉末の表面をフッ化物によりコーティングし、圧縮成型した後焼結してゲッター材を形成し、そのゲッター材をヒーターに接合してゲッターポンプを製造する。

Claim (excerpt)：

水素吸蔵合金をゲッター材として使用した主に水素を吸着するゲッターポンプにおいて、表面をフッ化物でコーティングした粉末を焼結して形成される多孔質のゲッター材と、前記ゲッター材を加熱するためのヒーターとを有し、前記ゲッター材と前記ヒーターとを接合し一体化したことを特徴とするゲッターポンプ。

IPC (3)：

F04B 37/02 ,  F04B 37/04 ,  F04B 39/00