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J-GLOBAL ID：200903042981799500

表面性状測定機

Inventor： 日高 宏幸 ,  金松 敏裕 ,  本田 博臣 ,  加納 孝文 ,  石橋 一成
Applicant, Patent owner： 株式会社ミツトヨ
Agent (1)： 吉田 研二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999120752
Publication number (International publication number)：2000310529
Application date： Apr. 27, 1999
Publication date： Nov. 07, 2000
Summary：

【要約】【課題】 表面性状測定機の検出器増幅率を自動調整する。【解決手段】 載物台12上にワーク14を載せ、スタイラスを有する検出装置16を図中X軸方向に移動させてワーク14表面をトレースする。検出装置16は、ワーク14の凹凸を電気信号に変換し、増幅した後デジタル変換してコンピュータに出力する。検出装置16の増幅率は当初最高値に設定され、測定値がレンジオーバと判定された場合に段階的に低下調整する。

Claim (excerpt)：

被測定物の凹凸を電気信号に変換する検出手段と、前記検出手段からの電気信号を増幅する増幅手段と、前記増幅手段で増幅された電気信号をデジタル信号に変換するA/D変換手段と、を有する表面性状測定機において、前記A/D変換手段からのデジタル信号が所定の範囲内にあるか否かを判定する判定手段と、前記判定手段で所定の範囲外であると判定された場合に前記増幅手段の増幅率を低下させる制御手段と、を有することを特徴とする表面性状測定機。

IPC (3)：

G01B 21/30 ,  G01B 21/20 ,  G01N 37/00

FI (3)：

G01B 21/30 Z ,  G01B 21/20 C ,  G01N 37/00 A

F-Term (11)：

2F069AA54 ,  2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069DD15 ,  2F069GG01 ,  2F069GG12 ,  2F069GG62 ,  2F069HH01 ,  2F069HH30 ,  2F069LL03 ,  2F069NN08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-053111
  
• 特開平1-110214
  
• 特開平3-053111
  
• 特開平1-110214