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J-GLOBAL ID：200903042996997758

製造装置管理システム

Inventor： 森岡 利伸 ,  横田 宗泰
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 田辺 恵基
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994332970
Publication number (International publication number)：1996166994
Application date： Dec. 14, 1994
Publication date： Jun. 25, 1996
Summary：

【要約】【目的】本発明は製造装置管理システムにおいて、データ管理を一段と容易にする。【構成】データ編集機(1)にネツトワーク(7)を介して接続された複数台の製造装置(2)〜(6)を同じデータで制御できる装置群(2)、(3)及び(4)〜(6)に分類したデータデイレクトリ〔.USER 〕を作成すると共に、各製造装置(2)〜(6)それぞれについてのデータデイレクトリ〔.NET〕を作成してアクセスできるデータフアイルを区別する。これにより使用できないデータの転送先として誤まつた装置が指定された場合にも転送できないようにできる。

Claim (excerpt)：

複数台の製造装置と、該複数台の製造装置のデータを個別に又は一括して管理するデータ編集機とがネツトワークを介して接続された製造装置管理システムにおいて、前記データ編集機は、前記複数台の製造装置のうち同じデータで制御できる装置群ごとに分類され、該装置群に共通したデータを備えるデータデイレクトリと、前記複数台の製造装置それぞれに対応する個別の第2のデータを備えるデータデイレクトリとを具えることを特徴とする製造装置管理システム。

IPC (3)：

G06F 17/60 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/027

FI (2)：

G06F 15/21 R ,  H01L 21/30 502 G