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J-GLOBAL ID：200903043000424427

走査電子顕微鏡

Inventor： 鈴木 宏征 ,  中山 佳彦 ,  平根 賢一 ,  木村 政司
Applicant, Patent owner： 株式会社日立ハイテクノロジーズ ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
Agent (1)： 平木 祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003165472
Publication number (International publication number)：2005005056
Application date： Jun. 10, 2003
Publication date： Jan. 06, 2005
Summary：

【課題】生物試料のカソードルミネッセンス像観察において褪色現象を無くし、2次電子像との同時観察を可能とする。【解決手段】対物レンズ4の下面に配置されたカソードルミネッセンス検出用集光ミラー10を、低真空雰囲気2次電子増幅用電極と兼用する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

電子銃と、前記電子銃から発生された電子線を試料上に走査するための偏向コイルと、低真空雰囲気下で前記電子線の照射により試料から発生した2次電子を増幅するための電極と、前記電子線の照射により試料から発生したカソードルミネッセンスを集光するための集光ミラーとを備える走査電子顕微鏡において、 前記2次電子を増幅するための電極が前記集光ミラーを兼ねていることを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (2)：

H01J37/28 ,  H01J37/244

FI (2)：

H01J37/28 B ,  H01J37/244

F-Term (4)：

5C033NN01 ,  5C033NP01 ,  5C033UU04 ,  5C033UU06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 走査電子顕微鏡等のカソードルミネッセンス検出装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-353952   Applicant：株式会社日立ハイテクノロジーズ, 株式会社日立サイエンスシステムズ
• 走査型透過電子顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-033347   Applicant：株式会社日立製作所