Pat

J-GLOBAL ID：200903043023131605

感光性樹脂組成物およびその用途

Inventor： 金子 知正 ,  浅野 英雄 ,  山口 稔 ,  上田 賢一 ,  ▲吉▼田 雅年
Applicant, Patent owner： 株式会社日本触媒
Agent (1)： 松本 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001371872
Publication number (International publication number)：2002303975
Application date： Dec. 05, 2001
Publication date： Oct. 18, 2002
Summary：

【要約】【課題】 後工程での熱処理において分解による地汚れ、平滑性低下、膜厚の減少、着色を生じることなく均一な塗膜を高い塗膜強度で形成することができ、露光感度が良好である感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 2-(ヒドロキシアルキル)アクリル酸エステルと酸基を有するモノマーとを含む単量体成分から得られるラクトン環含有重合体(A)を必須成分として含む。

Claim (excerpt)：

2-(ヒドロキシアルキル)アクリル酸エステルと酸基を有するモノマーとを含む単量体成分から得られるラクトン環含有重合体(A)を必須成分として含む、感光性樹脂組成物。

IPC (7)：

G03F 7/032 ,  C08F 8/48 ,  C08F220/06 ,  C08F220/28 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 505

FI (7)：

G03F 7/032 ,  C08F 8/48 ,  C08F220/06 ,  C08F220/28 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 505

F-Term (43)：

2H025AA01 ,  2H025AA13 ,  2H025AB08 ,  2H025AB13 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025CA01 ,  2H025CA18 ,  2H025CA23 ,  2H025CB41 ,  2H025CB42 ,  2H025CB45 ,  2H025CC11 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H048BA02 ,  2H048BA45 ,  2H048BA48 ,  2H048BB02 ,  2H048BB41 ,  2H048BB42 ,  4J100AJ02Q ,  4J100AL03R ,  4J100AL04R ,  4J100AL08R ,  4J100AL09R ,  4J100AL29P ,  4J100BC04R ,  4J100BC43R ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA31 ,  4J100DA22 ,  4J100HA41 ,  4J100HE05 ,  4J100HE14 ,  4J100JA37