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J-GLOBAL ID：200903043027440130

フラットパネルディスプレイ基板用ハードコート

Inventor： ヴェンカトラマン,チャンドラ ,  ブロドベック,シンディ
Applicant, Patent owner： ナムローゼ・フェンノートシャップ・ベーカート・ソシエテ・アノニム ,  ヴェンカトラマン,チャンドラ ,  ブロドベック,シンディ
Agent (1)： 奥山 尚一 (外2名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000562574
Publication number (International publication number)：2002521247
Application date： Jul. 27, 1999
Publication date： Jul. 16, 2002
Summary：

【要約】本発明は、コーティングが無定形であり、かつC、H、Si及びOからなるために、フラットパネルディスプレイのプラスチック基板に必要な性能を提供する独特のハードコーティングに関する。本発明のコーティングは、硬く、光学的に透明で、耐擦傷性・耐摩耗性で疎水性である。それは、低密度の、低温プラズマ強化化学蒸着(PECVD)工程により堆積され、優れたバリア防護及び湿気、酸素、ヘリウム及び他の蒸気に対する低減した透過性を示す。

Claim (excerpt)：

無定形構造で、炭素、水素、ケイ素及び酸素からなる、プラスチック基板用の耐摩耗性で、透明なバリアコーティングであって、上記コーティングが約70°C以下の温度及び約50ミリトルから約500ミリトルの範囲の圧力で堆積され、更に上記コーティングが約2から約10GPaの範囲のナノ押込み硬度特性を有するコーティング。

IPC (4)：

B32B 9/00 ,  C23C 16/30 ,  G02F 1/1333 500 ,  G09F 9/30 310

FI (4)：

B32B 9/00 A ,  C23C 16/30 ,  G02F 1/1333 500 ,  G09F 9/30 310

F-Term (55)：

2H090JA07 ,  2H090JB03 ,  2H090JC07 ,  2H090JD15 ,  4F100AA20B ,  4F100AB03 ,  4F100AB04 ,  4F100AB11 ,  4F100AG00 ,  4F100AK01A ,  4F100AK04 ,  4F100AK17 ,  4F100AK45 ,  4F100BA02 ,  4F100BA07 ,  4F100EH66 ,  4F100EJ61B ,  4F100GB41 ,  4F100JA12B ,  4F100JA13B ,  4F100JB06B ,  4F100JD01B ,  4F100JD03 ,  4F100JD04 ,  4F100JK09B ,  4F100JK12B ,  4F100JN01B ,  4F100YY00B ,  4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA14 ,  4K030AA17 ,  4K030BA27 ,  4K030BA35 ,  4K030BA44 ,  4K030BB05 ,  4K030CA07 ,  4K030DA03 ,  4K030FA01 ,  4K030JA06 ,  4K030LA01 ,  4K030LA18 ,  5C094AA15 ,  5C094AA31 ,  5C094AA36 ,  5C094AA38 ,  5C094AA43 ,  5C094DA13 ,  5C094EB01 ,  5C094EB02 ,  5C094FA02 ,  5C094JA01 ,  5C094JA08 ,  5C094JA11 ,  5C094JA20