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J-GLOBAL ID：200903043035541949

荷電ビーム装置および絞り機構

Inventor： 江橋 満 ,  広瀬 博 ,  黒羽 元寿
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994274722
Publication number (International publication number)：1996138599
Application date： Nov. 09, 1994
Publication date： May. 31, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【構成】モータ1の回転運動を送りねじ2により直線運動に変換し、変換された直線運動をベローズ3を介して真空容器内4に導入し、大きさの異なる孔7a〜7eを一定間隔で開けたプレート6を直線運動と平行に配置し、直線運動と同じ動きをさせることで、モータの回転角の制御により、大きさの異なる孔の絞りを任意に選択することができる絞り機構を構成することにより自動的に大きさの異なる孔の絞りを任意に変更することができる。【効果】集束イオンビーム装置のように試料の自動加工を行う装置では、加工時にビーム電流及びビーム径を任意の大きさに高速に且つ再現性良く自動的に位置決めの微調整をすることなく変更でき、また、消耗した絞り孔の交換も簡単にできる。

Claim (excerpt)：

荷電粒子源と粒子源から放出される荷電ビームを集束,偏向して試料上の任意の位置へ集束荷電ビームとして照射される荷電光学系と、前記試料を保持し移動させる試料ステージと、前記集束荷電ビームの前記試料上での開角を制限するビーム電流制限絞り機構とを備えた荷電ビーム装置において、モータの回転運動を送りねじにより直線運動に変換し、変換された直線運動をベローズを介して真空容器内に導入し、大きさの異なる孔を一定間隔で開けたプレートを前記直線運動と平行に配置し、前記直線運動と同じ動きをさせることで、前記モータの回転角の制御により、大きさの異なる孔の絞りを任意に選択するビーム電流制限絞り機構を備えたことを特徴とする荷電ビーム装置。