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J-GLOBAL ID：200903043056673411
ポジ型耐熱性感光性重合体組成物及びレリーフパターンの製造法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996167465
Publication number (International publication number)：1998007796
Application date： Jun. 27, 1996
Publication date： Jan. 13, 1998
Summary：
【要約】【課題】 感度が高い耐熱性感光性重合体組成物及びこの組成物を用いたレリーフパターンの製造法及びこの組成物を用いたレリーフパターンの製造法を提供する。【解決手段】 (a)一般式(I)【化1】(式中、R1は炭素数2以上の4価の有機基を示し、R2はカルボキシル基又はフェノール性水酸基を有する炭素数2以上の2価の有機基を示し、R3は芳香環を含む3価の有機基を示し、R4は水素原子または炭素数1以上の1価の有機基を示し、R5は炭素数1以上の1価の有機基を示し、mとnの比率は、mが20〜90%、nが80〜10%である)で表されるポリマー、(b)o-キノンジアジド化合物、を含有してなる耐熱性感光性重合体組成物及びこの耐熱性感光性重合体組成物を支持基板上に塗布、乾燥後、露光、現像し、加熱処理するレリーフパターンの製造法。
Claim (excerpt)：
(a)一般式(I)【化1】(式中、R1は炭素数2以上の4価の有機基を示し、R2はカルボキシル基又はフェノール性水酸基を有する炭素数2以上の2価の有機基を示し、R3は芳香環を含む3価の有機基を示し、R4は水素原子または炭素数1以上の1価の有機基を示し、R5は炭素数1以上の1価の有機基を示し、mとnの比率は、mが20〜90%、nが80〜10%である)で表されるポリマー、(b)o-キノンジアジド化合物、を含有してなる耐熱性感光性重合体組成物。
IPC (6)：
C08G 73/10 NTF
, C08K 5/28
, C08L 79/08 LRB
, C09D179/08 PLW
, G03F 7/022
, G03F 7/037 501
C08G 73/10 NTF
, C08K 5/28
, C08L 79/08 LRB
, C09D179/08 PLW
, G03F 7/022
, G03F 7/037 501
