インライン蛍光X線膜厚モニタ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：林敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998022250
Publication number (International publication number)：1999218418
Application date： Feb. 03, 1998
Publication date： Aug. 10, 1999
Summary：

【要約】【課題】インラインに設置するため小型でライン特性の優れた検出効率と角度特性を向上させた蛍光X線モニタを提供する。【解決手段】蛍光X線法を原理とし,エンドウィンドウ型のX線管球からの一次X線照射ビームと同軸で環状の検出面を有する検出器を配置する。

Claim (excerpt)：

蛍光X線法を原理とし,エンドウィンドウ型のX線管球からのX線照射ビームと同軸で環状の検出面を有する検出器を配置することによって検出効率と角度特性を向上させたことを特徴とする小型な蛍光X線膜厚モニタ。

IPC (4)：

G01B 15/02 , G01N 23/223 , G21K 1/00 , H01J 47/00

FI (4)：

G01B 15/02 D , G01N 23/223 , G21K 1/00 X , H01J 47/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

マイクロ蛍光X線分析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-149280 Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
特開平1-316683
特開昭62-240809

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