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J-GLOBAL ID：200903043101976536

エキシマレーザに関するパルスエネルギ制御

Inventor： リチャード エル サンドストローム ,  イーゴル ヴィ フォメンコフ ,  ハーヴ エイ ベゾーセール ,  パラシュ ピー ダス
Applicant, Patent owner： サイマー インコーポレイテッド
Agent (1)： 中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998289304
Publication number (International publication number)：1999191653
Application date： Oct. 12, 1998
Publication date： Jul. 13, 1999
Summary：

【要約】【課題】 エキシマレーザに関するパルスエネルギ制御プロセスを提供する。【解決手段】 エキシマレーザによって作り出されたパルスのバーストにおいてパルスエネルギと集積エネルギドーズとを制御するためのプロセスである。各バーストにおける各パルスのエネルギを測定する。チャージ電圧を備えるパルスエネルギの変化の割合を測定する。パルスエネルギエラーを現在のパルスの前のパルスから測定する。集積ドーズエラーをまた、現在のバーストの前の全てのパルスから測定する。次のパルスの電圧の変化を、パルスエネルギエラーと、集積ドーズエラーと、チャージ電圧を備えるエネルギの変化の割合と、リファレンス電圧とを使用して測定する。

Claim (excerpt)：

チャージ電圧を定義する高電圧チャージシステムを含むパルスパワーシステムを有するエキシマレーザからの現在のバーストパルスP1 ,P2 ・・・PN-1 ,PN を定義するパルスのバーストにおいてパルスエネルギ及び集積エネルギドーズを制御するプロセスであって、A)前記パルスのバーストにおいて各パルスのエネルギを測定し、B)チャージ電圧に対するパルスエネルギの変化の割合ΔE/ΔVを測定し、C)1)前記バースト及び所定の目標パルスエネルギ値における少なくとも一つの以前の値の測定されたエネルギに基づいてパルスエネルギエラーεを各PN に関して測定し、2)前記バーストにおいて、以前の全てのパルスP1 乃至PN-1 の集積ドーズエラーDを各PN に関して測定し、3) i)前記ΔE/ΔVii)前記εiii)前記Div)少なくとも一つのリファレンス電圧を使用して前記最初の複数のパルスにおいて、前記パルスPN の各々に関してチャージ電圧VN を測定する、アルゴリズムでプログラムされたコンピュータプロセッサを利用するレーザのチャージ電圧を調整することによってパルスの前記バーストにおける少なくとも一つの複数のパルスにおいて各パルスPN のパルスエネルギを制御する、前記プロセス。

IPC (3)：

H01S 3/137 ,  H01S 3/134 ,  H01S 3/225

FI (3)：

H01S 3/137 ,  H01S 3/134 ,  H01S 3/223 E