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J-GLOBAL ID：200903043120189944

超音波洗浄ノズル

Inventor： 正木 彰
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994024092
Publication number (International publication number)：1995232143
Application date： Feb. 22, 1994
Publication date： Sep. 05, 1995
Summary：

【要約】【目的】 この発明は超音波振動が付与された洗浄液で被洗浄物を洗浄する場合に、その洗浄効果を高めることができるようにした超音波洗浄ノズルを提供することにある。【構成】 洗浄液を流通させる流路5が形成されたノズル本体2と、上記流路に流入する洗浄液に超音波振動を付与する超音波振動子11と、上記流路に設けられこの流路に流入して超音波振動が付与された洗浄液を整流して流出させる整流体12とを具備したことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

洗浄液を流通させる流路が形成されたノズル本体と、上記流路に流入する洗浄液に超音波振動を付与する超音波振動子と、上記流路に設けられこの流路に流入して超音波振動が付与された洗浄液を整流して流出させる整流手段とを具備したことを特徴とする超音波洗浄ノズル。

IPC (5)：

B08B 3/12 ,  B06B 3/04 ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 超音波洗浄装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-163037   Applicant：株式会社カイジョー