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J-GLOBAL ID：200903043131551980

ステージ制御装置

Inventor： 涌井 伸二
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999239378
Publication number (International publication number)：2001068396
Application date： Aug. 26, 1999
Publication date： Mar. 16, 2001
Summary：

【要約】【課題】 位置決め制御されるステージの動きに対し十分なダンピングを付与する。【解決手段】 ステージ4の位置決め制御を行なう位置のフィードバックループ12Y、13Y、14〜16、5L、5R、6L、6Rを備えたステージ制御装置において、前記ステージの絶対速度を検出する速度センサ19を設け、その検出出力を、前記ステージの動きに対してダンピングを付与するように負帰還する。

Claim (excerpt)：

ステージの位置決め制御を行なう位置のフィードバックループを備えたステージ制御装置において、前記ステージの絶対速度を検出する速度センサを備え、その検出出力は、前記ステージの動きに対してダンピングを付与するように負帰還されるものであることを特徴とするステージ制御装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G05D 3/12 305 ,  G05D 3/12 306

FI (3)：

H01L 21/30 503 A ,  G05D 3/12 305 L ,  G05D 3/12 306 S

F-Term (29)：

5F046AA23 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5F046DB05 ,  5F046DB14 ,  5H303AA06 ,  5H303BB02 ,  5H303BB07 ,  5H303BB12 ,  5H303CC01 ,  5H303CC05 ,  5H303CC06 ,  5H303DD04 ,  5H303EE03 ,  5H303EE07 ,  5H303FF06 ,  5H303GG13 ,  5H303HH01 ,  5H303JJ01 ,  5H303JJ04 ,  5H303KK02 ,  5H303KK03 ,  5H303KK04 ,  5H303KK18 ,  5H303KK20 ,  5H303MM05