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J-GLOBAL ID：200903043144273946

導電性収納容器及び搬送容器

Inventor： 小池 直人
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991272764
Publication number (International publication number)：1993109879
Application date： Oct. 21, 1991
Publication date： Apr. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】ウェハー製造後からチップ切断までの工程でウェハー割れを防止し、容易に半導体ウェハーを搬送する。容器に収納したまま電気的特性検査を行なう。【構成】ウェハー保持部101上にウェハー102を置き、固定部103の回転で内周の突起部104により固定用爪105を押し、ウェハー102を固定する。ウェハー保持部101上に数箇所、導電性緩衝材106を配置する。ウェハー保持部101の外周にウェハー向き認識用切り欠き107、機械式固定用溝108を設置する。突起部104はスプリング109により可動とする。固定用爪105は突起部104に押され中心方向にスライドし、導電性緩衝材部110でウェハー側面を保持する。【効果】従来のウェハーキャリア、ボックスによる搬送も可能。

Claim (excerpt)：

ウェハー保持部品,回転部品から成り、回転部品を回転させ内周の突起部でウェハ保持部品上のスライド式固定用爪を押すことで、固定用爪内側の導電性樹脂部によりウェハーを固定することを特徴とする導電性収納容器。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/00 ,  B65D 85/38