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J-GLOBAL ID：200903043176413600

ユニバ-サルチャック用ウエハ取付板およびその製造方法

Inventor： 関田 三郎 ,  柏 守幸 ,  小此木 弘孝
Applicant, Patent owner： 株式会社岡本工作機械製作所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998352189
Publication number (International publication number)：2000158268
Application date： Nov. 27, 1998
Publication date： Jun. 13, 2000
Summary：

【要約】【課題】 研削・研磨時、ウエハに取付板の非通気性セラミック製環状仕切壁の模様が転写されず、かつ、平坦な表面を有するウエハを与えるユニバ-サルチャック用ウエハ取付板の提供。【解決手段】 通気性ポ-ラスセラミック製円板を中心とし、この円板の外周に軸心を同一、かつ、高さを同一にした複数の通気性ポ-ラスセラミック製環状体が配列され、前記通気性ポ-ラスセラミック製円板と通気性ポ-ラスセラミック製環状体の間および通気性ポ-ラスセラミック製環状体同士の間には、幅が0.1〜0.8mm、高さが前記円板と同一の溶射セラミックの非通気性薄膜環状仕切壁が配列されて全体として1枚の円盤を構成する、ユニバ-サルチャック用ウエハ取付板を提供する。

Claim (excerpt)：

通気性ポ-ラスセラミック製円板を中心とし、この円板の外周に軸心を同一、かつ、高さを同一にした複数の通気性ポ-ラスセラミック製環状体が配列され、前記通気性ポ-ラスセラミック製円板と通気性ポ-ラスセラミック製環状体の間および通気性ポ-ラスセラミック製環状体同士の間には、幅が0.1〜0.8mm、高さが前記円板と同一の溶射セラミックの非通気性薄膜環状仕切壁が配列されて全体として1枚の円盤を構成する、ユニバ-サルチャック用ウエハ取付板。

IPC (2)：

B23Q 3/08 ,  H01L 21/304 622

FI (2)：

B23Q 3/08 A ,  H01L 21/304 622 H

F-Term (4)：

3C016BA05 ,  3C016CA04 ,  3C016DA03 ,  3C016DA05