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J-GLOBAL ID：200903043197107878
カンチレバー及びその製造方法、並びに同カンチレバーを用いた走査型プローブ顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
四宮 通
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995018458
Publication number (International publication number)：1996189931
Application date： Jan. 10, 1995
Publication date： Jul. 23, 1996
Summary：
【要約】【目的】 探針の導電部分の摩耗を防止し、計測の分解能の低下の進度を低減させる。【構成】 カンチレバーは、薄膜状梁部1と、薄膜状梁部1の先端側領域に突設された探針3とを備えている。探針3は、導電性を有する突起4と、突起4の先端及び周囲を覆うとともに突起4の先端側の厚みが他の部分の厚みに比べて薄い酸化珪素膜5とから構成されている。
Claim (excerpt)：
薄膜状梁部と該薄膜状梁部の先端側領域に突設された探針とを備えたカンチレバーにおいて、前記探針が、導電性を有する突起と、該突起の先端及び周囲を覆うとともに前記突起の先端側の厚みが他の部分の厚みに比べて薄い酸化珪素膜とからなることを特徴とするカンチレバー。
IPC (4)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01R 1/073
, H01J 37/28
