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J-GLOBAL ID：200903043197201750

放電プラズマ処理方法

Inventor： 山川 達三朗 ,  大野 毅之
Applicant, Patent owner： 積水化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001387906
Publication number (International publication number)：2003183832
Application date： Dec. 20, 2001
Publication date： Jul. 03, 2003
Summary：

【要約】【課題】 放電プラズマ処理中に未反応ガスの析出物により排気配管内に詰まりが生じても、排気配管内の排ガス流量を一定にすることのできる排気流量の制御方法の提供。【解決手段】 少なくとも一方の電極対向面を固体誘電体で被覆した一対の電極間に処理ガスを導入して電界を印加することによりグロー放電プラズマを発生させて被処理体を処理した後、処理済み排ガスを回収する方法において、排気配管の流量の制御を排気配管の入口と排気配管の下流域との間の差圧を測定し、その間に設けられたコントロールバルブで行うことを特徴とする放電プラズマ処理方法。

Claim (excerpt)：

少なくとも一方の電極対向面を固体誘電体で被覆した一対の電極間に処理ガスを導入して電界を印加することによりグロー放電プラズマを発生させて被処理体を処理した後、処理済み排ガスを回収する方法において、排気配管の流量の制御を排気配管の入口と排気配管の下流域との間の差圧を測定し、その間に設けられたコントロールバルブで行うことを特徴とする放電プラズマ処理方法。

IPC (4)：

C23C 16/44 ,  B01J 19/08 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/24

FI (4)：

C23C 16/44 E ,  B01J 19/08 E ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/24

F-Term (23)：

4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075AA61 ,  4G075BA05 ,  4G075BB05 ,  4G075BC04 ,  4G075BC06 ,  4G075BC10 ,  4G075CA16 ,  4G075CA47 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EC21 ,  4G075FC15 ,  4K030EA13 ,  4K030JA09 ,  4K030KA11 ,  4K030KA39 ,  4K030KA41 ,  5F045EC07 ,  5F045EG02 ,  5F045EG06 ,  5F045GB06