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J-GLOBAL ID：200903043217460715
面精度測定装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐藤 正年 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992343599
Publication number (International publication number)：1994174447
Application date： Dec. 01, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：
【要約】【目的】 高精度の面精度測定装置の容易な実施化を図ること、並びに装置の小型化と応用の範囲の拡大を目的として、一般利用可能な構成からなる面精度測定装置を提供すること。【構成】 被測定面で反射された測定用光束と、参照用光束とを互いに干渉させて生ずる干渉縞から球面精度を測定する面精度測定装置であって、光源手段が光源からの光束を伝達する固体光伝送路を有し、この光伝送路の光出射部から出射する光束を前記測定用光束及び参照用光束として利用するもの。
Claim (excerpt)：
光源手段からの光束の照射位置に被測定面となる凹球面を配置し、この被測定面で反射された測定用光束と、参照用光束とを互いに干渉させ、該干渉により生ずる干渉縞の状態を検知することにより、前記被測定面の球面精度を測定する面精度測定装置において、前記光源手段の出射光束を伝達する固体光伝送路を有し、この光伝送路の光出射部から出射する光束を前記測定用光束及び参照用光束として利用することを特徴とする面精度測定装置。
IPC (2)：
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