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J-GLOBAL ID：200903043288323468

オメガフィルタ

Inventor： 津野 勝重
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 菅井 英雄 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992316917
Publication number (International publication number)：1994162977
Application date： Nov. 26, 1992
Publication date： Jun. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】 簡単な構成で非点なし結像を実現する。【構成】 セクタ11は一対の磁極片13,13′、これらを接続するヨーク14及びコイル15、15′で構成されている。セクタ12も同様である。セクタ11とセクタ12は近接して配置され、磁界分布が反対極性となるように励磁される。電子線がセクタ12に入射されるものとすると、入射した電子線はまずセクタ12によって偏向され、セクタ12から一旦セクタ11に入り、偏向されて略半円状の軌道で進行し、再びセクタ12に入って偏向を受け、全体的にΩ字状の軌跡を辿ってセクタ12から出射する。ここで、セクタ11、12の各磁極片の対向する面には光軸に沿って光軸の両側に磁界分布を補正するためのコイルがループ状に配置されているので、これらのコイルに適当な電流を流すことによって電子線を非点を生じることなく結像させることができる。

Claim (excerpt)：

一対の平板状磁極片が対向して配置されてなる第1のセクタ型電磁石と、一対の平板状磁極片が対向して配置されてなり、前記第1のセクタ型電磁石とは反対の極性に励磁される第2のセクタ型電磁石とを備え、且つ前記第1のセクタ型電磁石と前記第2のセクタ型電磁石が近接して配置されてなるオメガフィルタであって、前記第1のセクタ型電磁石及び前記第2のセクタ型電磁石の各磁極片の対向する面には光軸に沿って所定の傾斜が施されていることを特徴とするオメガフィルタ。

IPC (3)：

H01J 37/05 ,  H01J 37/26 ,  H01J 49/44

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭61-277141
  
• 特開昭62-066553
  
• 特開昭48-085190
  
• 特開平4-209460