干渉計の被検面アライメント方法および装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：柳田征史 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994029463
Publication number (International publication number)：1995239207
Application date： Feb. 28, 1994
Publication date： Sep. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】フィゾー型干渉計において、その光ビーム光路内に遮蔽片を挿入し、この遮蔽片の像を利用して被検面アライメントを行うことにより、干渉計の大型化および高コスト化を招来することなく被検面アライメントを行う。【構成】コリメータレンズ16と基準板18との間(光ビームが2分割される前)の光路内に該光ビームの一部を遮る針状の遮蔽片30を挿入し、この状態で、半透鏡平面18aからの反射光により形成される遮蔽片30の像P1 と、被検平面2aからの反射光により形成される遮蔽片30の像P2 とが、テレビモニタ28のCRT28a上において1つに重なるよう、被検体支持調整機構20を操作して被検平面2aの位置(傾斜角)を調整する。

Claim (excerpt)：

光ビームを2分割し、該2分割された光ビームを所定位置関係で配された基準面および被検面で各々反射させ、これら反射された2つの光ビームの干渉作用によりスクリーン上に干渉縞を形成させるように構成された干渉計において、前記所定位置関係が得られるよう前記被検面の位置を調整する被検面アライメント方法であって、前記2分割される前の光ビームの光路内に該光ビームの一部を遮る遮蔽片を挿入し、この状態で、前記2分割された光ビームの各々によって前記スクリーン上に形成される前記遮蔽片の2つの像が1つに重なるよう前記被検面の位置を調整する、ことを特徴とする干渉計の被検面アライメント方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

干渉計におけるアライメント装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-137015 Applicant：富士写真光機株式会社
特開平4-181104
特開昭63-168502

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