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J-GLOBAL ID：200903043298099469

磁場計測装置

Inventor： 神鳥 明彦 ,  塚田 啓二 ,  鈴木 大介
Applicant, Patent owner： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Agent (2)： 小川 勝男 ,  田中 恭助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003177826
Publication number (International publication number)：2005016960
Application date： Jun. 23, 2003
Publication date： Jan. 20, 2005
Summary：

【課題】検出コイルに入る妨害磁場を低減する磁場計測装置を提供する。【解決手段】検査対象Sからの磁場を検出する検出コイル1を具備するSQUID磁束計とこれを駆動するSQUID駆動回路3と、妨害磁場を検出するための磁束計15と、これを駆動する磁束計駆動回路14と、磁束計駆動回路14の出力を変調する変調回路11と、変調回路11の出力を電流量に変換する電流変換装置10と、変換された電流量を調整する電流量調整手段9と、検出コイル1の外側に配置され、電流量調整手段9により調整された電流を流すコイル8と、SQUID駆動回路3の出力を検波する検波回路4と、検波回路4の出力電圧の低周波数成分を抽出するLPF13と、SQUID駆動回路3の出力からLPF13の出力を引き算する引き算回路5を有する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

検査対象から発生する磁場を検出する検出コイルを具備する第1の磁束計と、前記第1の磁束計を駆動する第1の駆動回路と、妨害磁場を検出するための第2の磁束計と、前記第2の磁束計を駆動する第2の駆動回路と、前記第2の駆動回路の出力を変調する変調回路と、前記変調回路の出力を電流量に変換する電流変換装置と、変換された前記電流量を調整する電流量調整手段と、前記第1の磁束計の検出コイルの外側に配置され、前記電流量調整手段により調整された電流を流すコイルと、前記第1の駆動回路の出力を前記変調回路と同じ周波数によって検波する検波回路と、前記検波回路の出力電圧の低周波数成分を抽出するための低周波数通過フィルター回路と、前記第1の駆動回路の出力から前記低周波数通過フィルター回路の出力を引き算する引き算回路とを有することを特徴とする磁場計測装置。

IPC (3)：

G01R33/035 ,  A61B5/05 ,  H01L39/04

FI (3)：

G01R33/035 ,  A61B5/05 A ,  H01L39/04

F-Term (19)：

2G017AA13 ,  2G017AD32 ,  2G017BA10 ,  4C027AA10 ,  4C027CC00 ,  4C027EE01 ,  4C027EE05 ,  4C027FF00 ,  4C027FF01 ,  4C027FF02 ,  4C027FF03 ,  4C027KK00 ,  4C027KK01 ,  4C027KK03 ,  4M114AA12 ,  4M114BB03 ,  4M114CC08 ,  4M114CC16 ,  4M114CC18