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J-GLOBAL ID：200903043313715740

ポジ型感光性樹脂組成物

Inventor： 徳竹 信生 ,  佐藤 和史 ,  佐藤 充 ,  斎藤 慎人
Applicant, Patent owner： 東京応化工業株式会社
Agent (1)： 阿形 明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997135059
Publication number (International publication number)：1998048820
Application date： May. 25, 1990
Publication date： Feb. 20, 1998
Summary：

【要約】【課題】 超微細加工用ホトレジストとして好適に用いられる高感度で画像コントラスト、パターンの断面形状に優れる上、耐熱性が良好で、保存安定性に優れたポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 アルカリ可溶性ノボラック型樹脂に、感光性成分として、一般式【化1】(式中のR1及びR2の一方はメチル基で他方は水素原子であり、D1、D2及びD3のうち少なくとも1個はナフトキノン-1,2-ジアジドスルホニル基で残りは水素原子である)で表わされる化合物の中から選ばれた少なくとも1種を配合する。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性ノボラック型樹脂に、感光性成分として、一般式【化1】(式中のR1及びR2の一方はメチル基で他方は水素原子であり、D1、D2及びD3のうち少なくとも1個はナフトキノン-1,2-ジアジドスルホニル基で残りは水素原子である)で表わされる化合物の中から選ばれた少なくとも1種を配合して成るポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (2)：

G03F 7/022 601 ,  H01L 21/027

FI (2)：

G03F 7/022 601 ,  H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平1-189644
  
• 特開平3-158856