Pat

J-GLOBAL ID：200903043315592263

研摩装置及び研摩方法

Inventor： 藤木 満
Applicant, Patent owner： 株式会社ワイドマン
Agent (1)： 小島 隆司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998107069
Publication number (International publication number)：1999285964
Application date： Apr. 02, 1998
Publication date： Oct. 19, 1999
Summary：

【要約】【解決手段】 供給ロールに巻装され、この供給ロールから繰り出されると共に、巻取ロールにて巻取られる長尺帯状の研摩パッドと、この研摩パッドを走行させる駆動装置と、上記研摩パッドが配される上面に多数の吸引孔が穿設され、これら吸引孔を介して上記研摩パッドを真空吸引可能な定盤と、この定盤の上方に配置され、先端に被研摩物を保持する治具体を備えた被研摩物保持装置と、上記定盤上面上の研摩パッドに研摩剤を供給する研摩剤供給装置とを具備することを特徴とする研摩装置。【効果】 本発明によれば、平板状、円盤状の被研摩物を効率よく確実に平坦研摩することができる。

Claim (excerpt)：

供給ロールに巻装され、この供給ロールから繰り出されると共に、巻取ロールにて巻取られる長尺帯状の研摩パッドと、この研摩パッドを走行させる駆動装置と、上記研摩パッドが配される上面に多数の吸引孔が穿設され、これら吸引孔を介して上記研摩パッドを真空吸引可能な定盤と、この定盤の上方に配置され、先端に被研摩物を保持する治具体を備えた被研摩物保持装置と、上記定盤上面上の研摩パッドに研摩剤を供給する研摩剤供給装置とを具備することを特徴とする研摩装置。

IPC (2)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 621

FI (3)：

B24B 37/00 C ,  B24B 37/00 A ,  H01L 21/304 621 B