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J-GLOBAL ID：200903043334407680

多環式コポリマーに基づく感光性組成物

Inventor： エルセ,エドムンド ,  平野 孝 ,  クロティン,ジェフリー・シー,ジュニア ,  ローズ,ラリー・エフ ,  グッドール,ブライアン・エル ,  ジャヤラマン,サイクマール ,  マクダガル,クリス ,  サン,シェンライアン
Applicant, Patent owner： 住友ベークライト株式会社
Agent (6)： 社本 一夫 ,  増井 忠弐 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  寺地 拓己
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2004519232
Publication number (International publication number)：2005531680
Application date： Jul. 02, 2003
Publication date： Oct. 20, 2005
Summary：

構造式I:【化1】の反復単位を有するコポリマーを含むコポリマー組成物:ここで、XはO、-CH2-、および-CH2-CH2-から選ばれ、mは0〜5の整数であり;そして存在するR1〜R4の各々は、H;C1〜C25の直鎖状、分枝鎖状、および環状のアルキル、アリール、アラルキル、アルカリル、アルケニル、およびO、N、およびSiから選ばれる1個またはそれ以上のヘテロ原子を含有するアルキニル;エポキシ官能基を含有する基;-(CH2)nC(O)OR5;-(CH2)nC(O)OR6、-(CH2)nOR6;-(CH2)nOC(O)R6;-(CH2)nC(O)R6;-(CH2)nOC(O)OR6;および連結基でいっしょに連結されるR1、R2、R3およびR4の中の2種のあらゆる組み合わせ;から独立して選ばれる。構造式Iを有する反復単位の一部は少なくても1個のエポキシ官能側基を含有する。このコポリマー組成物は、光で触媒を形成する物質を感光性の誘電性組成物中に含有でき、そして基板上に感光性の層を形成するために使用できる。

Claim (excerpt)：

構造式I:

IPC (6)：

C08L101/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/32 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

FI (9)：

C08L101/00 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/038 501 ,  G03F7/038 503 ,  G03F7/038 601 ,  G03F7/32 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R

F-Term (28)：

2H025AA20 ,  2H025AC01 ,  2H025AC06 ,  2H025AD01 ,  2H025BD23 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BJ10 ,  2H025CB30 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  2H025FA12 ,  2H025FA16 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096BA06 ,  2H096EA02 ,  2H096EA06 ,  2H096FA01 ,  2H096GA03 ,  2H096HA01 ,  4J002BK001 ,  4J002DD006 ,  4J002EA047 ,  4J002ED056 ,  4J002EV306 ,  4J002FD207 ,  4J002GP03