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J-GLOBAL ID：200903043350763151

狭帯域レーザ発振方法及びその装置及びこれを用いたレーザ露光装置

Inventor： 榎波 智子 ,  榎波 龍雄
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993202276
Publication number (International publication number)：1995058393
Application date： Aug. 16, 1993
Publication date： Mar. 03, 1995
Summary：

【要約】【目的】本発明は、レーザ露光において焦点深度を向上するための狭帯域レーザ光を出力する。【構成】レーザ共振器内にエタロン(25)を配置し、このエタロン(25)に入射するレーザ光の入射角度を断続又は連続的に可変する。この場合、エタロン(25)のレーザ共振器光軸に対する配置位置を調整するものとなり、これをステッピングモータ(27)の駆動によりステップ状に可変する。

Claim (excerpt)：

レーザ共振器内に狭帯域化素子を配置し、この狭帯域化素子に入射するレーザ光の入射角度を断続的に可変することを特徴とする狭帯域レーザ発振方法。

IPC (3)：

H01S 3/106 ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平1-212437
  
• 特開平4-073926
  
• 特開昭63-228693
  
• 特開昭64-022087