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J-GLOBAL ID：200903043396706780

感光性重合体組成物並びにこれを用いた電子部品及びその製造法

Inventor： 上田 篤
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997181450
Publication number (International publication number)：1999024268
Application date： Jul. 07, 1997
Publication date： Jan. 29, 1999
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 良好な感光性を有し、かつ、配線段差の平坦化性が良好な、感光性重合体組成物、同様な層間絶縁膜又は表面保護膜を形成できる電子部品、同様な多層配線構造を有する電子部品の提供。【解決手段】 一般式(I)(R1R4は芳香族基を示し、R2及びR3はH又は1価の有機基を示し、R5はH又は炭化水素基を示し、nは1〜3)で表される繰り返し単位を有し、前記繰り返し単位の少なくとも一部のR2及びR3は炭化水素基であるポリイミド樹脂前駆体を含有してなる感光性重合体組成物、この感光性重合体組成物を塗布して樹脂膜を形成し、露光及び現像後硬化させ、層間絶縁膜又は表面保護膜を形成する電子部品の製造法、この感光性重合体組成物を塗布して樹脂膜を形成し、次いで露光及び現像を行ってビアホールを形成した後、樹脂膜を硬化させて層間絶縁膜とし、その上に上層配線層を形成することを、1回以上行う多層配線構造を有する電子部品の製造法。

Claim (excerpt)：

一般式(I)【化1】(式中、R1は4価の芳香族基を示し、R2及びR3は各々独立して水素原子又は1価の有機基を示し、R4は3価の芳香族基を示し、R5は水素原子又は炭化水素基を示し、nは1〜3の整数である)で表される繰り返し単位を有し、前記繰り返し単位の少なくとも一部のR2又はR3は一価の有機基であるポリイミド樹脂前駆体を含有してなる感光性重合体組成物。

IPC (8)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/038 501 ,  C08G 73/10 ,  C08G 73/12 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/027 514 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (8)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/038 501 ,  C08G 73/10 ,  C08G 73/12 ,  C08L 79/08 A ,  G03F 7/027 514 ,  H01L 21/312 B ,  H01L 21/30 502 R