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J-GLOBAL ID：200903043429231228

静電容量式加速度センサ及びエアバツグシステム

Inventor： 土谷 茂樹 ,  鈴木 清光 ,  松本 昌大 ,  三木 政之 ,  小出 晃
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 高橋 明夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991184595
Publication number (International publication number)：1993026903
Application date： Jul. 24, 1991
Publication date： Feb. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】 エアバッグシステム等に用いる静電容量式加速度センサの応答性の向上を図る。【構成】 固定電極5,6間に空隙を介して対向配置される可動電極4の電極面には、複数本の溝7が交差して配設され、各溝7の端部が可動電極・固定電極間の対向部の外側空間Sに臨むよう開口している。溝7は固定電極5,6側に設けても良い。溝7開口が外側空間Sに臨むことで、固定電極・可動電極間の内外の通気性を良くし、可動電極4動作時の電極空隙間に生じるエアダンパを低減させ、可動電極の応答速度が速まる。

Claim (excerpt)：

固定電極と、この固定電極に空隙を介して対向し加速度に応答して変位可能に支持される可動電極とを備えた静電容量式の加速度センサにおいて、前記可動電極及び固定電極の少なくとも一方の電極面にエアダンパ低減用の溝を設けて成ることを特徴とする静電容量式加速度センサ。

IPC (2)：

G01P 15/125 ,  B60R 21/32

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-118456
  
• 特開平2-271261
  
• 特開昭60-244864