処理結果の予測方法及び予測装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：亀谷美明 , 金本哲男 , 萩原康司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003067116
Publication number (International publication number)：2004281461
Application date： Mar. 12, 2003
Publication date： Oct. 07, 2004
Summary：

【課題】エッチング処理したウエハの処理結果を予測する際の予測精度を向上させる。【解決手段】ウエハの各処理ごとに得られる運転データ例えば光学データと処理結果データ例えばCDシフト量のデータを収集し,この光学データとCDシフト量のデータに基づいて多変量解析例えばPLS法によって相関関係(回帰式)を求め,他の被処理体を処理した時の光学データを用いて処理結果であるCDシフト量を予測し(第1の予測工程),この予測結果に基づいて,光学データに対する重み係数を設定して重み付光学データとし,重み付光学データとCDシフト量のデータに基づいてPLS法によって相関関係(回帰式)を求め,他の被処理体を処理した時の光学データを用いて処理結果を予測する(第2の予測工程)。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

処理装置の処理室内で複数の被処理体を処理する過程で,前記処理装置の運転データと処理結果データに基づいて処理結果を予測する方法であって, 前記被処理体の各処理ごとに得られる運転データと処理結果データを収集するデータ収集工程と, 収集した前記運転データと前記処理結果データに基づいて多変量解析を行って,前記運転データと前記処理結果データとの相関関係を求める第1の解析工程と, 前記第1の解析工程により求めた相関関係に基づいて,この相関関係を得た被処理体以外の被処理体を処理した時の運転データを用いて処理結果を予測する第1の予測工程と, 前記第1の予測工程による予測結果に基づいて,前記第1の解析工程で使用した各運転データに対する重み係数を設定する重み係数設定工程と, 前記重み係数を対応する各運転データに乗じたものを重み付運転データとし,この重み付運転データと前記処理結果データに基づいて多変量解析を行って,前記重み付運転データと前記処理結果データとの相関関係を求める第2の解析工程と, 第2の解析工程により求めた相関関係に基づいて,この相関関係を得た被処理体以外の被処理体を処理した時の運転データを用いて処理結果を予測する第2の予測工程と, を有すること特徴とする処理結果の予測方法。

IPC (1)：

H01L21/3065

FI (1)：

H01L21/302 101G

F-Term (8)：

5F004AA16 , 5F004BA08 , 5F004BB07 , 5F004BD04 , 5F004CB02 , 5F004DA00 , 5F004DA23 , 5F004DA26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

製造システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-067429 Applicant：浜松ホトニクス株式会社

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