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J-GLOBAL ID：200903043440591732

走査電子顕微鏡

Inventor： 松山 秀生
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993125706
Publication number (International publication number)：1994338281
Application date： May. 27, 1993
Publication date： Dec. 06, 1994
Summary：

【要約】【目的】 走査電子顕微鏡の試料位置での磁界レンズからの洩れ磁場等を極力低減する。【構成】 試料5は高透磁率部材で作製された試料カセット4上に固定されている。また電子光学系7の試料側には高透磁率部材で作製された電子光学系先端部6が配置されおり、壁面にはプローブビーム1を通過させるための窓9が開いている。試料カセット4と電子光学系先端部6で試料を囲み、磁気シールドを構成する。

Claim (excerpt)：

プローブビーム照射手段と、プローブビーム収束手段と、電子線のスピン偏極度を検出する手段と、試料からの2次電子を収集しかつ上記スピン偏極度を検出する手段へ2次電子を導く電子光学系と、試料を保持する手段を備えた走査電子顕微鏡に於いて、前記電子光学系の先端部及び上記試料保持手段の一部の一方或は両方を高透磁率部材で構成するとともに電子光学系先端部に前記プローブビームの透過部を設けたことを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (5)：

H01J 37/244 ,  G01R 31/302 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/28 ,  H05K 9/00