Pat
J-GLOBAL ID：200903043442709650

微小領域光処理装置

Inventor：
堀 尾 浩 司

About 堀 尾 浩 司

, 
鈴 木 啓 悟

About 鈴 木 啓 悟


Applicant, Patent owner：
株式会社モリテックス

About 株式会社モリテックス

, 
生物系特定産業技術研究推進機構

About 生物系特定産業技術研究推進機構


Agent (1)： 澤野 勝文 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002053282
Publication number (International publication number)：2003255235
Application date： Feb. 28, 2002
Publication date： Sep. 10, 2003
Summary：
【要約】【課題】光の回折限界以下のナノメータオーダーで光を照射して、微小領域の光加工・光刺激及び熱刺激等の光処理を行えるようにする。【解決手段】光ファイバ(12)の光出射端(12out)のコア(12a)部分を円錐状に尖らせてその頂点(12b)を除いたテーパ面(12c)に金属コーティング膜(14a)が形成されて成るテーパ化ファイバプローブ(14)を顕微鏡(2)の視野下で任意の処理位置に位置決めし、その頂点(12b)から漏光する近接場光を被処理物(W)の微小領域に照射し、その光エネルギーにより任意の光処理を行うようにした。
Claim (excerpt)：
被処理物(W)の微小領域にエネルギー光を照射し、その光エネルギーを利用して任意の光処理を行う微小領域光処理装置であって、被処理物(W)を拡大観察する顕微鏡(2)と、光ファイバ(12)の光出射端(12out)に形成されたテーパ化ファイバプローブ(14)と、当該プローブ(14)を前記顕微鏡(2)の視野下で任意の処理位置に位置決めする位置決めユニット(13)と、前記光ファイバ(12)の光入射端(12in)からエネルギー光を入射させる光源装置(11)を備えると共に、前記テーパ化ファイバプローブ(14)は少なくとも光出射端(12out)のコア(12a)部分を円錐状に尖らせてその頂点(12b)を除いたテーパ面(12c)に金属コーティング膜(14a)が形成されていることを特徴とする微小領域光処理装置。
F-Term (1)：
2H052AF19
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM