マッピング測定可能な顕微装置及びマッピング方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岩橋祐司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000351414
Publication number (International publication number)：2002156328
Application date： Nov. 17, 2000
Publication date： May. 31, 2002
Summary：

【要約】【課題】本発明の目的は、被測定物のマッピングを行うために煩雑な作業を必要とせず、光学系を複雑化させることなく、比較的安価なマッピングを行い得る装置を提供し、前記装置を用いて、比較的簡単にマッピングを行う方法を提供することである。【解決手段】前記目的を達成するために本発明にかかる顕微装置2は、被測定試料4のマッピング測定を行い得る顕微装置において、被測定試料を載置するステージ6と、被測定試料の観察面aと共役な面b内に配置され、被測定試料の観察範囲を開口の大きさによって制限可能なアパーチャ22を備えており、前記アパーチャは、被測定試料の観察面と共役な面内で、顕微装置の光軸を中心としない開口を設定可能であり、前記アパーチャの開口位置を調整することによって、観察面と平行な面内でステージを動かすことなく被測定試料の特定範囲のマッピング測定を行うことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

被測定試料のマッピング測定を行い得る顕微装置において、被測定試料を載置するステージと、被測定試料の観察面と共役な面内に配置され、被測定試料の観察範囲を開口の大きさによって制限可能なアパーチャを備えており、前記アパーチャは、被測定試料の観察面と共役な面内で、顕微装置の光軸を中心としない開口を設定可能であり、前記アパーチャの開口位置を調整することによって、観察面と平行な面内でステージを動かすことなく被測定試料の特定範囲のマッピング測定を行うことを特徴とする顕微装置。

IPC (3)：

G01N 21/27 , G01N 21/35 , G02B 21/00

FI (4)：

G01N 21/27 E , G01N 21/27 C , G01N 21/35 Z , G02B 21/00

F-Term (21)：

2G059AA03 , 2G059BB08 , 2G059EE01 , 2G059EE12 , 2G059FF01 , 2G059GG09 , 2G059HH01 , 2G059HH02 , 2G059HH03 , 2G059JJ12 , 2G059JJ13 , 2G059JJ22 , 2G059KK01 , 2G059KK07 , 2H052AC04 , 2H052AC13 , 2H052AC29 , 2H052AD35 , 2H052AF07 , 2H052AF21 , 2H052AF25

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

赤外顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-177081 Applicant：株式会社島津製作所
顕微ATRマッピング測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-037056 Applicant：株式会社島津製作所
赤外顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-289665 Applicant：株式会社島津製作所

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