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J-GLOBAL ID：200903043461885531

光変調素子の駆動方法及び光変調素子並びにそれを用いた露光装置、平面表示装置

Inventor：
木村 宏一

About 木村 宏一


Applicant, Patent owner：
富士写真フイルム株式会社

About 富士写真フイルム株式会社


Agent (1)： 小栗 昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000220733
Publication number (International publication number)：2002040339
Application date： Jul. 21, 2000
Publication date： Feb. 06, 2002
Summary：
【要約】【課題】 高速変調やアレイ化の不要な安価な光源が使用可能になり、しかも、構造が簡素で、高精度な位置合わせが不要になる光変調素子の駆動方法及び光変調素子並びにそれを用いた露光装置、平面表示装置を提供する。【解決手段】 光源23からの光を伝搬させる導光体27と、この導光体27の境界面に対面して設けられる主可撓薄膜33と、主可撓薄膜33より光伝搬方向下流側で導光体27の境界面に対面して設けられる副可撓薄膜35とを備え、電気機械動作により主可撓薄膜33と境界面との距離を変化させて導光体27を伝搬する光の透過率を変化させるとともに、電気機械動作により副可撓薄膜35と境界面との距離を変化させ、導光体27を伝搬する透過光の光路を偏向させて導光体27から外部へ出射される光を制御する。
Claim (excerpt)：
光源からの光を伝搬させる導光体と、該導光体の境界面に対面して設けられる主可撓薄膜と、該主可撓薄膜より光伝搬方向下流側で前記導光体の境界面に対面して設けられる副可撓薄膜とを備え、電気機械動作により主可撓薄膜と境界面との距離を変化させて導光体を伝搬する光の透過率を変化させるとともに、電気機械動作により副可撓薄膜と境界面との距離を変化させ、導光体を伝搬する透過光の光路を偏向させて前記導光体から外部へ出射される光を制御することを特徴とする光変調素子の駆動方法。
IPC (4)：
G02B 26/08 ,  F21S 2/00 ,  G09F 9/00 324 ,  H04N 5/66
FI (4)：
G02B 26/08 A ,  G09F 9/00 324 ,  H04N 5/66 Z ,  F21S 1/00 F
F-Term (18)：
2H041AA16 ,  2H041AB40 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08 ,  5C058AA18 ,  5C058BA23 ,  5C058BA35 ,  5G435AA17 ,  5G435BB15 ,  5G435CC12 ,  5G435EE30 ,  5G435FF08 ,  5G435FF15 ,  5G435GG27 ,  5G435LL04 ,  5G435LL13
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • 光スイッチング素子及び画像表示装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-262271   Applicant：セイコーエプソン株式会社
  • 映像表示装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-324619   Applicant：ミノルタ株式会社
  • 画像表示装置および投射装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-021299   Applicant：セイコーエプソン株式会社
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