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J-GLOBAL ID：200903043470766065

半導体集積回路装置およびその製造方法

Inventor： 佐藤 英紀 ,  一瀬 勝彦 ,  石井 雪乃 ,  神保 智子
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001145222
Publication number (International publication number)：2002343962
Application date： May. 15, 2001
Publication date： Nov. 29, 2002
Summary：

【要約】【課題】 ゲート電極を覆う窒化シリコン膜中の水素含有量を低減することによって、デバイスのNBTI寿命を向上させる。【解決手段】 窒化シリコン膜の堆積に使用するCVD装置100は、ソースガスを熱分解するホットウォール炉103と、ウエハ1の表面に膜を形成するチャンバ101とが互いに分離された構造になっている。チャンバ101の上方には、ソースガスを熱分解するためのホットウォール炉103が設けられており、その外周には、炉内を最高1200°C程度の高温雰囲気に設定できるヒータ104が設置されている。配管105、106を通じてホットウォール炉103に供給されたソースガスは、この炉内であらかじめ熱分解され、その分解成分がチャンバ101のステージ102上に供給されてウエハ1の表面に膜を形成する。

Claim (excerpt)：

半導体基板の主面上に形成されたMISFETと、前記MISFETのゲート電極の少なくとも一部を覆う、第1窒化シリコン膜を主成分とする第1絶縁膜を有し、前記第1窒化シリコン膜に含まれる水素の濃度が2×1021atoms/cm3以下であることを特徴とする半導体集積回路装置。

IPC (10)：

H01L 29/78 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 21/8242 ,  H01L 21/8247 ,  H01L 27/092 ,  H01L 27/10 461 ,  H01L 27/108 ,  H01L 27/115 ,  H01L 29/788 ,  H01L 29/792

FI (9)：

H01L 27/10 461 ,  H01L 29/78 301 G ,  H01L 27/10 621 C ,  H01L 27/10 651 ,  H01L 27/08 321 Z ,  H01L 27/08 321 K ,  H01L 29/78 371 ,  H01L 27/10 434 ,  H01L 27/08 321 D

F-Term (97)：

5F048AB01 ,  5F048AB03 ,  5F048AC03 ,  5F048BB06 ,  5F048BB07 ,  5F048BB08 ,  5F048BE03 ,  5F048BF06 ,  5F048BG13 ,  5F048DA27 ,  5F083AD31 ,  5F083AD48 ,  5F083AD49 ,  5F083AD62 ,  5F083EP02 ,  5F083EP23 ,  5F083EP55 ,  5F083ER22 ,  5F083JA04 ,  5F083JA06 ,  5F083JA14 ,  5F083JA15 ,  5F083JA17 ,  5F083JA32 ,  5F083JA36 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083MA03 ,  5F083MA06 ,  5F083MA17 ,  5F083MA19 ,  5F083MA20 ,  5F083NA01 ,  5F083PR06 ,  5F083PR21 ,  5F083PR40 ,  5F083PR43 ,  5F083PR44 ,  5F083PR45 ,  5F083PR53 ,  5F083PR54 ,  5F083PR55 ,  5F083ZA05 ,  5F083ZA06 ,  5F083ZA12 ,  5F101BA07 ,  5F101BA29 ,  5F101BA33 ,  5F101BA36 ,  5F101BB05 ,  5F101BD35 ,  5F101BD36 ,  5F101BH02 ,  5F101BH05 ,  5F140AA06 ,  5F140AB03 ,  5F140AC32 ,  5F140AC33 ,  5F140BA01 ,  5F140BD01 ,  5F140BD02 ,  5F140BD05 ,  5F140BD07 ,  5F140BD09 ,  5F140BD10 ,  5F140BE07 ,  5F140BE10 ,  5F140BE15 ,  5F140BF04 ,  5F140BF20 ,  5F140BF21 ,  5F140BF27 ,  5F140BG14 ,  5F140BG22 ,  5F140BG28 ,  5F140BG30 ,  5F140BG32 ,  5F140BG52 ,  5F140BG53 ,  5F140BH15 ,  5F140BJ01 ,  5F140BJ04 ,  5F140BJ11 ,  5F140BJ17 ,  5F140BJ20 ,  5F140BJ27 ,  5F140BK02 ,  5F140BK13 ,  5F140BK27 ,  5F140BK29 ,  5F140BK30 ,  5F140CB04 ,  5F140CC03 ,  5F140CC12 ,  5F140CC14 ,  5F140CC16 ,  5F140CE07