Pat

J-GLOBAL ID：200903043495015528

シラン系ガス中のシロキサンの計測方法

Inventor： 林 茂樹 ,  大木 厚志 ,  来島 貴彦 ,  中村 雅一 ,  牧原 康二
Applicant, Patent owner： 大阪酸素工業株式会社
Agent (1)： 湯浅 恭三 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995066179
Publication number (International publication number)：1996261989
Application date： Mar. 24, 1995
Publication date： Oct. 11, 1996
Summary：

【要約】【目的】 シラン中のシロキサンの定量【構成】 大気圧イオン化質量分析計(APIMS)を用いてシランガス中のシロキサン成分の定性・定量計測する場合において、m/z77、107、109、137、139、169よりなる群から選ばれたイオンの1つまたは2つ以上のイオンにより、シランガス中のシロキサン成分の定性・定量する大気圧イオン化質量分析計を用いたシランガス中のシロキサン計測方法。

Claim (excerpt)：

大気圧イオン化質量分析計(APIMS)を用いてシランガス中のシロキサン成分の定性・定量計測する場合において、m/z77、107、109、137、139、169よりなる群から選ばれたイオンの1つまたは2つ以上のイオンにより、シランガス中のシロキサン成分を定性・定量する大気圧イオン化質量分析計を用いたシランガス中のシロキサン計測方法。