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J-GLOBAL ID:200903043506526481

回折格子プロファイルのマスターライブラリを作成する方法とシステム、および回折格子プロファイルの実行時ライブラリを作成するシステム

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 石田 敬 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001363091
Publication number (International publication number):2002243925
Application date: Nov. 28, 2001
Publication date: Aug. 28, 2002
Summary:
【要約】【課題】 回折格子プロファイルのライブラリの生成および使用に関し、クライアントの長期的要件にも短期的要件にも対応することが可能な回折格子プロファイルのライブラリを作成する方法とシステムを提供することを目的とする。【解決手段】 回折格子プロファイルのマスターライブラリを作成する方法が、回折格子の複数種の寸法を含むパラメータ集合体を設定する段階と、回折格子プロファイルのマスターライブラリをコンパイルする段階とを備える。回折格子プロファイルは、設定されたパラメータ集合体中の回折格子の寸法と当該回折格子に対応すべく算出されたスペクトルデータとの組み合せを表すデータを含む段階を有する。当該マスターライブラリを作成するシステムが、マスターライブラリを格納するための記憶媒体22と、記憶媒体に接続されたコンピュータ18と、コンピュータ内で動作してマスターライブラリを作成するコンパイラ24とを備える。
Claim (excerpt):
回折格子プロファイルのマスターライブラリを作成する方法であって、回折格子の複数種の寸法を含むパラメータ集合体を設定する段階と、前記回折格子プロファイルのマスターライブラリをコンパイルする段階とを備え、前記回折格子プロファイルは、設定された前記パラメータ集合体中の回折格子の寸法と該回折格子に対応すべく算出されたスペクトルデータとの組み合せを表すデータを含む段階を有することを特徴とする、マスターライブラリを作成する方法。
F-Term (2):
2H049AA31 ,  2H049AA62
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

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