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J-GLOBAL ID:200903043541853738

酸化亜鉛系焼結体及びその製造方法並びに用途

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991099816
Publication number (International publication number):1994088218
Application date: Apr. 05, 1991
Publication date: Mar. 29, 1994
Summary:
【要約】【目的】 タ-ゲットとして用いた場合に優れた特性を示す酸化亜鉛系焼結体を提供する。【構成】 亜鉛の硫酸水溶液をアンモニアで中和して得られた沈殿物を仮焼した後、1300°C以上の温度で焼結することにより、(002)結晶配向性を有する酸化亜鉛系焼結体を得る。
Claim (excerpt):
(002)結晶配向性が(101)結晶配向性より大きく、且つ密度が4.5g/cm3以上である酸化亜鉛系焼結体。
IPC (3):
C23C 14/34 ,  C04B 35/00 ,  C23C 14/08

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