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J-GLOBAL ID：200903043552987418
ハードディスクの欠陥検出方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
木村 高久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992295214
Publication number (International publication number)：1994148088
Application date： Nov. 04, 1992
Publication date： May. 27, 1994
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 ハードディスク表面のしみ、タッチマークのような凹凸のほとんどない欠陥を検出する方法を提供する。【構成】 第1は、ハードディスク表面に、テクスチャ2に対して平行となるように、斜め方向から白色高輝度平行光3を入射し、散乱光を分解能の低い結像光学系5を通してCCDアレイセンサ等の光センサ6で検出する。第2は、散乱光を光センサで検出し、この検出出力を半径方向に沿って微分し、微分ピーク位置のハードディスク表面上における連続性を測定し、連続性が高いときにのみしみが存在すると判断する。第3は、散乱光を光センサでハードディスクの全面にわたって検出し、ハードディスクを複数の同心円に分け、その各同心円上での検出出力の極小値をとる位置を求め、この位置が半径方向に並んだとき、これをタッチマークであると判断する。
Claim (excerpt)：
ハードディスク表面に、テクスチャに対して平行となるように、斜め方向から光を入射し、ハードディスクからの散乱光を光センサで検出することによりハードディスク表面の欠陥を検出するようにしたことを特徴とするハードディスクの欠陥検出方法。
IPC (3)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G11B 5/84
