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J-GLOBAL ID：200903043553700481
走査型プローブ顕微鏡および原子種同定方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993059863
Publication number (International publication number)：1994273155
Application date： Mar. 19, 1993
Publication date： Sep. 30, 1994
Summary：
【要約】【目的】 個々の原子に関する、引力から斥力に至るまでの探針-試料間相互作用力の探針-試料間距離依存性、および任意の探針-試料間距離での電圧-電流特性を測定できる高機能走査型プローブ顕微鏡、およびそれを用いた原子種の同定方法を提供する。【構成】 探針先端の電位が制御可能で且つ電流を流すことができる導電性探針が設けられたカンチレバー、該カンチレバーの固定端と試料との相対位置を制御するための位置制御機構、該探針と試料との間に生じる原子間力などによる該カンチレバーのたわみ量を計測するための微小変位計測機構、および該カンチレバーのたわみを制御するためのたわみ制御機構からなる。
Claim (excerpt)：
探針先端の電位が制御可能で且つ電流を流すことができる導電性探針が設けられたカンチレバー、該カンチレバーの固定端と試料との相対位置を制御するための位置制御機構、該探針と試料との間に生じる原子間力、ファンデアワールス力、磁気力、クーロン力の何れかによる該カンチレバーのたわみ量を計測するための微小変位計測機構、および該カンチレバーのたわみを制御し、試料ー探針先端間の距離を任意の値に制御するためのたわみ制御機構を有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2)：
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