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J-GLOBAL ID：200903043638284134
ウエハー熱水抽出治具
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
梅田 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993039773
Publication number (International publication number)：1994249770
Application date： Mar. 01, 1993
Publication date： Sep. 09, 1994
Summary：
【要約】【構成】 第1リング3の上にパックタイプ容器2を載せ、分析用ウエハー1をパックタイプ容器2中に入れ、第1リング3中央に位置する様に置く。次に、第2リング5内側に第1リング3を嵌入し、開口部4,5をパックタイプ容器2の口に揃える。次に、パックタイプ容器2内に抽出液8を注入し、第3リング7の内側に第1及び第2リング3,5を嵌入、熱水抽出を行う。【効果】 迅速、簡単、且つ正確に、湯浴またはオーブンのどちらを用いても、熱水抽出を行うことができる。
Claim (excerpt)：
半導体ウエハーを収納するパックタイプ容器と、一部が開口している、所定の内径を有する第1リング及び第2リングと、開口部を有しない、所定の内径を有する第3リングとから成ることを特徴とするウエハー熱水抽出治具。
IPC (3)：
G01N 1/28
, B01D 11/02 101
, G01N 1/02
