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J-GLOBAL ID：200903043653277446
加速度センサおよびその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995163892
Publication number (International publication number)：1997015260
Application date： Jun. 29, 1995
Publication date： Jan. 17, 1997
Summary：
【要約】【目的】容量型加速度センサにおいて、上部容量と下部容量の容量差を調整することにある。【構成】上部容量を形成する上部固定電極4と上部可動電極9あるいは下部容量を形成する下部固定電極5と下部固定電極5の一方に容量調整溝6を形成して2つの容量の容量差を合わせておくか、センサ組立後に上部固定電極4あるいは下部固定電極5の一部に外部よりレーザトリミングを用いて容量調整溝6を形成する。これにより、2つの容量の容量差を無くし、センサ出力のオフセット電圧の調整を容易にしたり、無調整にする。
Claim (excerpt)：
振動や重力等の自然量を電気信号に変換する加速度センサにおいて、上部に導電体で形成した第1の固定電極を持つ下部基板と、下部に導電体で形成した第2の固定電極を持つ上部基板と、半導体基板に機械加工もしくはエッチング加工を施こすことにより中央部に梁部によって支持され且つ前記第1および前記第2の固定電極に対向する位置に第1および第2の可動電極を備えた重り部を形成するとともに前記下部基板と前記上部基板との間に接合されるセンサ基板とを有し、前記第1の可動電極または前記第2の可動電極あるいは前記第1の固定電極または前記第2の固定電極の一方に容量調整溝を形成し、前記第1の固定電極と前記第1の可動電極および前記第2の固定電極と前記第2の可動電極によって形成される2つの容量の容量差を調整することを特徴とする加速度センサ。
IPC (2)：
FI (2)：
G01P 15/125
, H01L 29/84 A
