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J-GLOBAL ID：200903043666375102

加速度センサ

Inventor： 田中 克彦
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 広瀬 和彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992204576
Publication number (International publication number)：1994027134
Application date： Jul. 08, 1992
Publication date： Feb. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】 変位検出部によって可動部の変位を高精度に検出し、加速度検出の検出精度や信頼性等を向上する。【構成】 可動部としての片持梁25の支持部25A上に設けた圧電体27と、該圧電体27に隣接して支持部25Aの突出端側に設けられ、圧電体27から電極28を介して出力された電荷信号を電圧値に変換する変位検出回路29とによって変位検出部26を形成し、変位検出部26からの変位検出信号に基づいて、駆動部31の静電駆動回路34から各電極32,33に駆動電圧信号を出力し、各電極32,33と質量部25Bとの間に所定の静電力を発生させることにより、駆動部31で片持梁25の位置を制御する構成とした。これにより、片持梁25の振動による変位は、圧電体27によって電荷信号として検出され、この電荷信号は変位検出回路29によって電圧信号に変換される。

Claim (excerpt)：

シリコン材料または一部がシリコンの化合物材料から形成され、基端側が固定端となり先端側が加速度に応じて変位する質量部となった可動部と、該可動部の基端側に設けられた圧電体からなり、該可動部の変位を検出する変位検出部と、該変位検出部からの変位検出信号に基づき、前記可動部の変位が零となるように静電力を発生させて該可動部の位置を制御する駆動部とから構成してなる加速度センサ。

IPC (2)：

G01P 15/09 ,  H01L 29/84

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平1-240865
  
• 特開平2-248865
  
• 特開平2-248864
  
• 特開平2-052255
  
• 特開昭60-092672