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J-GLOBAL ID：200903043714804991

共焦点走査型顕微鏡

Inventor： 木村 俊仁
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 柳田 征史 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991211899
Publication number (International publication number)：1993053059
Application date： Aug. 23, 1991
Publication date： Mar. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】 共焦点走査型顕微鏡において、光検出器の前に配置される絞り手段の位置調整を容易にできるようにする。【構成】 平行光である照明光11をスリット板7に通してそのビーム断面形状を細長いものとし、それにより細長い形状となった点像Qを、その長さ方向に交わる向きのスリット27aを有するスリット板27を通して、光検出器28により検出する。

Claim (excerpt)：

試料が載置される試料台と、照明光を発する光源と、この照明光を試料上において微小な光点として結像させる送光光学系と、前記試料からの光束を集光して点像に結像させる受光光学系と、この点像を検出する光検出器と、前記光点を試料上において2次元的に走査させる走査手段とを備えてなる共焦点走査型顕微鏡において、前記照明光を細長い断面形状に成形する手段と、細長い形状となった前記点像の長さ方向と交わって延びるスリットを有するスリット板とが設けられたことを特徴とする共焦点走査型顕微鏡。