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J-GLOBAL ID：200903043717411346
ウエハーマウンタのウエハー支持方法、その装置及びその装置を備えるウエハーマウンタ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
澤 喜代治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991225156
Publication number (International publication number)：1993121543
Application date： Aug. 09, 1991
Publication date： May. 18, 1993
Summary：
【要約】【目的】本発明は、大径のウェハーに確実にテープを貼着させることができる、ウェハーマウンタのウェハー支持方法、その装置及びその装置を備えるウェハーマウンタを提供することを目的とする。【構成】本発明は、テーブル板20とウェハーWとの間に形成される圧力空間34を圧力設定壁29で一次圧力空間34aと二次圧力空間34bとに区画し、上記圧力調整壁29とウェハーWとの間に形成される絞り通路35の絞り作用により、上記一次圧力設定空間34aにウェハーWの中央部に作用する所要のバックアップ圧力を設定し、上記二次圧力空間34bを大気中に連通させてウェハーW全体に作用するバックアップ圧力をウェハーW固定用の真空吸着力よりも小さくする構成とする。
Claim (excerpt)：
テーブル板にウェハーを裏返しに載置し、ローラでウェハーの裏面にテープを加圧して貼着する際にウェハーの周縁部を真空吸着するとともに、ウェハーの表面に加圧空気によりバックアップ圧力を作用させる、ウェハーマウンタのウェハー支持方法において、テーブル板とウェハーとの間に形成される圧力空間を、テーブル板をウェハーの近傍まで突出させた圧力設定壁で、中央部の一次圧力空間と周縁部の二次圧力空間とに区画し、加圧空気源から一次圧力設定空間から供給された加圧空気によるバックアップ圧力を圧力調整壁とウェハーとの間に形成される絞り通路の絞り作用により設定するとともに、上記一次圧力設定空間から絞り通路を通って二次圧力設定空間に供給された加圧空気によるバックアップ圧力を二次圧力空間を大気中に連通させる絞り孔の絞り作用により設定することを特徴とするウェハーマウンタのウェハー支持方法。
IPC (2)：
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