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J-GLOBAL ID：200903043723256468

焦電検出器の製造方法

Inventor： 松本 浩一 ,  岡本 一隆 ,  高田 秀次 ,  中根 正見
Applicant, Patent owner： 株式会社堀場製作所
Agent (1)： 藤本 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991321014
Publication number (International publication number)：1993133802
Application date： Nov. 09, 1991
Publication date： May. 28, 1993
Summary：

【要約】【目的】 分極処理を簡単に行え、しかも、機械的あるいは熱的ストレスによる分極劣化やFETや高抵抗の性能劣化を生ずることがない有用な焦電検出器の製造方法を提供すること。【構成】 デュアルタイプの検出部を形成した焦電検出器において、焦電体薄板1の各電極3,4,5,6に対応する部分を所定の極性に分極するのに、第1表面電極3をFETのゲート 19Gに接続する一方、第2表面電極4を焦電検出器のアース端子 15Cに接続すると共に、前記ゲート 19Gとアース端子 15Cとの間に高抵抗20を接続した状態で、第1表面電極3と第2表面電極4とを短絡し、この短絡点24と、第1裏面電極5と第2裏面電極6との接続点18と直流電圧を印加するようにしている。

Claim (excerpt)：

焦電体薄板の表面に第1表面電極および第2表面電極を形成すると共に、裏面に前記電極と対応する位置に互いに電気的に接続された第1裏面電極および第2裏面電極を形成し、焦電体薄板に表面電極と裏面電極とからなる2組の電極対を直列接続してなるデュアルタイプの検出部を形成した焦電検出器において、前記焦電体薄板の各電極に対応する部分を所定の極性に分極するのに、第1表面電極をFETのゲートに接続する一方、第2表面電極を焦電検出器のアース端子に接続すると共に、前記ゲートとアース端子との間に高抵抗を接続した状態で、第1表面電極と第2表面電極とを短絡し、この短絡点と、第1裏面電極と第2裏面電極との接続点とに直流電圧を印加し、2組の電極対が互いに極性の異なる分極を有するようにしたことを特徴とする焦電検出器の製造方法。

IPC (3)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/02 ,  H01L 37/02